隨著(zhù)精密制造和光電子領(lǐng)域的快速發(fā)展,對機械運動(dòng)部件相關(guān)參數的高精度實(shí)時(shí)檢測變得越來(lái)越重要。為實(shí)現物體納米精度的微位移傳感與測量更是具有至關(guān)重要的意義。精密制造業(yè)中精細加工質(zhì)量的保證取決于設備中主要傳感器給出的傳感精度,沒(méi)有高精度的傳感手段和儀器,加工精度根本無(wú)法保證。我們知道在精密儀器中,任何復雜的執行動(dòng)作都是由齒輪的轉動(dòng)、微鏡的轉動(dòng)、傳動(dòng)桿的滑動(dòng)以及活塞的往復運動(dòng)等單元動(dòng)作組合而成,這些單元動(dòng)作都可轉換成兩垂直方向的微位移。因此,任何操作的準確實(shí)現都是基于兩垂直方向微位移的準確控制,而微位移的準確控制的前提是它們的高精度傳感和測量。
全光纖位移干涉測速儀是一種用于安全科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的計量?jì)x器,利用等光程相干原理和光纖延遲線(xiàn),大大降低了系統對光源相干性及帶寬的要求。系統造價(jià)低廉,調試簡(jiǎn)單,輕巧易于使用,能夠靈活更換延遲光纖滿(mǎn)足不同的測試要求,有著(zhù)廣泛的應用前景。但采用的光纖準直器口徑普遍較小,一般在毫米量級,工作距離有限,在漫反射情況下難以收集漫反射光。
全光纖位移干涉測速儀的特點(diǎn):
1、采用交流放大器,更穩定,抗環(huán)境干擾能力更強;
2、采用高倍電子細分,可達納米級分辨率;
3、采用光纖傳輸,裝調更便捷,更容易實(shí)現多軸同步測量;
4、具備網(wǎng)口、USB口及ABZ正交編碼等輸出。